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真空感應(yīng)懸浮熔煉爐是將分瓣水冷銅坩堝置于強(qiáng)大的交變磁場中,利用感應(yīng)渦流加熱水冷銅坩堝中的金屬使其融化,依靠電磁力使熔融金屬與水冷銅坩堝不產(chǎn)生密切接觸。這樣就避免了坩堝對需要熔煉材料的污染,從而能夠熔煉出高純度的金屬材料。通過精練后在水冷銅坩堝內(nèi)的液態(tài)合金也可以通過旋轉(zhuǎn)澆注入錠模中,可以得到組織致密的合金錠。真空懸浮熔煉爐適用于鈦鋯、稀土材料等活性金屬的熔煉,鈦鋁合金的熔煉與精密鑄造。主要應(yīng)用于生產(chǎn)高純金屬材料、半導(dǎo)體單晶材料、高熔點(diǎn)合金和3D打印等行業(yè)。
技術(shù)參數(shù):
熔煉爐
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型號 |
CYKY-IMC-150 |
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ZUI大熔煉重量(按鈦液計(jì)算) |
150g |
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ZUI高加熱溫度 |
2600 |
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懸浮電源 |
ZUI大輸入功率 |
60KW |
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ZUI大輸出功率 |
54KW |
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采用電源 |
IGBT懸浮專用電源 |
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振蕩頻率 |
15-30KHZ(頻率自動跟蹤) |
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冷卻水要求 |
電源≥0.2MPa 坩堝 ≥0.35MPa |
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感應(yīng)線圈 |
懸浮爐專用線圈 |
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輸入電壓 |
三相380V 50 HZ |
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融化速率 |
10~15min |
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坩堝 |
懸浮專用水冷銅坩堝 |
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坩堝內(nèi)尺寸 |
Dia24X40mm |
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腔體內(nèi)尺寸 |
Dia490X520 |
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腔體真空度 |
< 5X10 -3Pa |
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坩堝可傾倒旋轉(zhuǎn)角度 |
0-360度 (可任意角度偏轉(zhuǎn)) |
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觀察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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真空機(jī)組
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機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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分子泵 (方案一)
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分子泵型號 |
FF160/620 |
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輸入電壓 |
220V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN150 |
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分子泵抽氣速率L/S(對空氣) |
600 |
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分子泵極限壓強(qiáng)(Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓(MPa) |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動壓強(qiáng) |
<100Pa |
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前機(jī)真空泵TRP-24
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
220V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率(L/S) |
6 |
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極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
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擴(kuò)散泵TK150
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電壓 |
220V |
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功率 |
1000W |
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極限真空度(在無泄露時(shí)) |
10E-5 |
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進(jìn)氣接口 |
DN150 |
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出氣接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽氣速率(N2) |
1000L/S |
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復(fù)合真空計(jì) |
復(fù)合真空計(jì)型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計(jì)測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |