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不銹鋼腔體八英寸勻膠機適用范圍:
勻膠機可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。
不銹鋼腔八英寸勻膠機技術(shù)參數(shù):
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項目 |
明細(xì) |
旋涂儀 |
供電電壓 |
AC220V,50Hz |
轉(zhuǎn)速 |
0~10000rpm |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
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轉(zhuǎn)速分辨率 |
1rpm |
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單步時間 |
3000s |
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基片尺寸 |
直徑≤8英寸(200mm) |
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腔體材質(zhì) |
不銹鋼 |
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操作方式 |
7寸高清LCD觸控屏 |
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滴膠方式 |
手動滴膠,可選購精密注射泵 |
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勻膠曲線 |
每條曲線5段,共可儲存5條曲線 |
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抽氣接口 |
φ8mm 快擰接口 |
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整機尺寸 |
290mm×365mm×310mm |
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整機重量 |
12kg |
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排氣系統(tǒng) |
真空泵 |
干式機械泵 |
抽氣速率 |
1.1L/s |
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供電電源 |
AC220V 50/60Hz |