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產品詳情
  • 產品名稱:1200℃高真空迷你CVD設備

  • 產品型號:CY-CVD1200-50-200-3TH-Q
  • 產品廠商:成越科儀
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
1200℃高真空迷你CVD設備核心是一款迷你管式爐,采用電阻絲加熱。1200℃高真空迷你CVD設備包含一臺三路浮子流量計,一臺分子泵組,分別構成了CVD的進氣和出氣部分
詳情介紹:

1200℃高真空迷你CVD設備該組CVD設備為小型化CVD系統(tǒng),核心是一款迷你管式爐,采用電阻絲加熱,設備*高溫度可達1200℃。儀器還包含一臺三路浮子流量計,一臺分子泵組,分別構成了CVD的進氣和出氣部分。

特點

1. 爐管右側有數(shù)顯真空計,用以控制爐管內部的真空度和氣氛環(huán)境。

2. 系統(tǒng)采用PID智能控溫,控溫精度能達到±1℃。

3. 管式爐在操作上采用溫控表操作可預設控溫曲線,

4. 一鍵啟停,便于使用,能夠簡化實驗操作進而節(jié)約試驗時間。

5. 高真空分子泵組可以有效提高本低真空度,提高反應產物的質量。 

技術參數(shù):

1200℃迷你管式爐 
供電電壓 AC220V,50Hz
功率 2KW max
加熱溫區(qū) 單溫區(qū)200mm
恒溫區(qū)長 100mm
加熱元件 耐熱合金絲
熱電偶 K型
工作溫度
≤1150℃
升溫速率
建議≤10℃/min
控溫精度
±1℃
控溫方式
AI-PID 30段工藝曲線,帶有過熱和斷偶保護
爐管材質
高純石英
爐管尺寸
φ50mm O.D x 450mm L
真空泵
機械泵  抽速1.1L/s
極限真空
5Pa

三路浮子流量計
閥門類型
不銹鋼針閥
氣路數(shù)量
三路
承壓范圍
0.05~0.3MPa
量程
160 SCCM (Air)
混氣罐容積
750mL
氣路材料
304不銹鋼
管道接口
6.35mm卡套接頭

分子泵組參

產品型號

CY-GZK103-A

分子泵

渦輪分子泵

前極泵

雙極旋片泵

抽氣速率

分子泵:60L/S

綜合抽氣性能:

30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

極限真空

5×10E-4Pa

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

真空測量

復合真空計


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號