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產品詳情
簡單介紹:
1200℃高真空迷你CVD設備核心是一款迷你管式爐,采用電阻絲加熱。1200℃高真空迷你CVD設備包含一臺三路浮子流量計,一臺分子泵組,分別構成了CVD的進氣和出氣部分
詳情介紹:
1200℃高真空迷你CVD設備該組CVD設備為小型化CVD系統(tǒng),核心是一款迷你管式爐,采用電阻絲加熱,設備*高溫度可達1200℃。儀器還包含一臺三路浮子流量計,一臺分子泵組,分別構成了CVD的進氣和出氣部分。
特點
1. 爐管右側有數(shù)顯真空計,用以控制爐管內部的真空度和氣氛環(huán)境。
2. 系統(tǒng)采用PID智能控溫,控溫精度能達到±1℃。
3. 管式爐在操作上采用溫控表操作,可預設控溫曲線,
4. 一鍵啟停,便于使用,能夠簡化實驗操作進而節(jié)約試驗時間。
5. 高真空分子泵組可以有效提高本低真空度,提高反應產物的質量。
技術參數(shù):
1200℃迷你管式爐 |
供電電壓 | AC220V,50Hz |
功率 | 2KW max | |
加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)200mm | |
恒溫區(qū)長 | 100mm | |
加熱元件 | 耐熱合金絲 | |
熱電偶 | K型 | |
工作溫度 |
≤1150℃ |
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升溫速率 |
建議≤10℃/min |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線,帶有過熱和斷偶保護 |
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爐管材質 |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
φ50mm O.D x 450mm L |
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真空泵 |
機械泵 抽速1.1L/s |
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極限真空 |
5Pa |
三路浮子流量計 |
閥門類型 |
不銹鋼針閥 |
氣路數(shù)量 |
三路 |
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承壓范圍 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
160 SCCM (Air) |
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混氣罐容積 |
750mL |
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氣路材料 |
304不銹鋼 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接頭 |
分子泵組參 |
產品型號 |
CY-GZK103-A |
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分子泵 |
渦輪分子泵 |
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前極泵 |
雙極旋片泵 |
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抽氣速率 |
分子泵:60L/S |
綜合抽氣性能: 30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa |
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旋片泵:1.1L/S |
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極限真空 |
5×10E-4Pa |
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抽氣接口 |
KF40 |
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排氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
復合真空計 |