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本型號勻膠機(jī)采用全鋁合金腔體,外觀美觀堅(jiān)固;腔體上蓋則采用360°可視的有機(jī)玻璃設(shè)計(jì),便于客戶使用過程中監(jiān)測勻膠情況。儀器采用先進(jìn)的精密電機(jī),轉(zhuǎn)速可高達(dá)到10000轉(zhuǎn)/分,有效的保障了成膜的均勻性。另外本儀器采用觸控屏控制,可以預(yù)設(shè)勻膠曲線,大大簡化了使用過程降低了學(xué)習(xí)成本,十分適合實(shí)驗(yàn)室選購。
旋轉(zhuǎn)涂覆儀適用范圍:
勻膠機(jī)可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。
旋轉(zhuǎn)涂覆儀技術(shù)參數(shù):
項(xiàng)目
明細(xì)
旋涂儀
供電電壓
AC220V,50Hz
轉(zhuǎn)速
0~10000rpm
加速度
100~5000rpm/s
轉(zhuǎn)速分辨率
1rpm
單步時(shí)間
3000s
基片尺寸
直徑≤8英寸(200mm)
腔體材質(zhì)
鋁合金
操作方式
7寸高清LCD觸控屏
滴膠方式
手動(dòng)滴膠,可選購精密注射泵
勻膠曲線
每條曲線5段,共可儲(chǔ)存5條曲線
抽氣接口
φ6mm 快擰接口
整機(jī)尺寸
290mm × 365mm × 260mm
整機(jī)重量
10kg
排氣系統(tǒng)
真空泵
干式機(jī)械泵
抽氣速率
50L/min
供電電源
AC220V 50/60Hz
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